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洁净室及洁净区选列的悬浮粒子洁净度等级
发布时间：2012-09-12        浏览次数：117        返回列表

ISO 等级序数
（N）
大于或等于表中被考虑的粒径的最大浓度限值
（pc/m3空气浓度限值按3.2 中的公式计算）
0.1μm
0.2μm
0.3μm
0.5μm
1μm
5μm
ISO Class 1
10
2
        
ISO Class 2
100
24
10
4
    
ISO Class 3
1000
237
102
35
8
  
ISO Class 4
10000
2370
1020
352
83
  
ISO Class 5
100000
23700
10200
3520
832
29
ISO Class 6
1000000
237000
102000
35200
8320
293
ISO Class 7
      
352000
83200
2930
ISO Class 8
      
3520000
832000
29300
ISO Class 9
      
35200000
8320000
293000
注：由于涉及测量过程的不确定性，帮要求用三个有效的数据来确定浓度等级水平。